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PECVD系統

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類鉆碳鍍膜系統

產品功能

類鉆碳鍍膜為本公司之核心技術之一,本公司亦為國內一家自行研發且成功推進市場之類鉆碳鍍膜制造商,成功的以中間膜層的設計克服附著力不佳及應力大造成剝落的間題,使用在各式模具的保護,如光碟、眼鏡模具等,深受產業界之肯定。 本公司推出之類鉆碳鍍膜系統,并非僅單獨售出硬體設備,而是會將整套類鉆碳鍍膜之know-how一并釋出,同時協助教育訓練相關人員,解決制程上的問題,也就是所謂技術授權或轉移。


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詳情介紹

產品特色

.高硬度 (extreme hardness):3000~5000 kg / mm

.耐腐蝕性佳 (chemical inertness)

.表面平滑 (smooth surface):Ra<0.2nm

.摩擦系數小 (low friction coefficient):~0.01

.電絕緣性佳 (high electrical resistivity)

.低表面能(low surface energy)

.膜致密度高 (high density)

.熱傳導性佳 (high thermal conductivity)

.生物相容性佳 (biocompatibility)

.可透 IR 及可見光(transparent in IR and visible range)

.能在低溫下成長 (low temperature deposition):<100℃

.使用溫度可達400℃


可應用范圍

.CD-R光碟模仁及部品

.眼鏡模具、手機模具

.塑膠射出、沖壓、精密模具

.軸心、軸承

.IC封裝模具

.IC吸嘴

.切削工具


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