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產品特色
．感應耦合高密度等離子系統（ICP System）
．等離子輔助化學氣相沉積系統（PECVD）
．濺鍍系統（Sputtering System）
．離子披覆系統（Ion-Plating System）
．電弧離子鍍膜系統（Arc Ion-Plating System）
．化學氣相沉積系統（CVD）
．熱蒸鍍系統（Thermal Evaporation）
．電子槍蒸鍍系統（E-gun Evaporation ）
可應用范圍
等離子處理系統如表面處理及表面改質
應用在各式鍍膜如光學多層薄膜、超硬耐磨耗薄膜（DLC、TiN、TiC等）
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