一、準備工作：找到合適的位置放好儀器主機，打開真空泵包裝，灌裝好真空油，改裝真空泵電源線(更換隨機的電源接頭)，連接好馗鼎等離子清洗設備與真空泵之間的真空管路,緊固好O型卡和鎖緊帽,做到連接處密封且不漏氣。

二、接通供電電源和真空泵電源,在此之前檢查所有按鈕需處于復位狀態,同時檢查所供電源插座的L、N、E的接線是否與機箱后的AC220V輸入插頭相一致，以免發生危險動作。

三、首次開機前，先取出托載盤，旋好倉門，此時會聽到倉門限位開關發出動作聲音，此聲音表明允許后續的處理操作能正常進行。

四、按下Power開關，開關上指示燈亮，按下真空泵Standby按鈕，啟動真空泵，緊接按下Pump按鈕，進入抽真空狀態。

五、開機抽真空時間應持續15分鐘以上且不做其他操作，目的是去潮除濕，同時檢查是否有漏氣部位。