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蘇州等離子光譜分析儀 (OES)

產品功能

等離子光譜分析儀為非侵入式的等離子分析儀器，能夠進行等離子的監控及分析制程中等離子元素特性，幫助提升制程的監控性并提供制程后續分析能力。

咨詢熱線：

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產品特色

．真空內置式偵測頭

．防鍍膜組

．能觀測特定波長

．能控制流量計

．能擴充至4組流量計控制

．等離子光譜成分后續分析功能

．客制化

可應用范圍

．LED 產業

．太陽能產業

．半導體產業

．光電產業

．等離子鍍膜產業

．等離子處理系統

．光學產業

．學術研究

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