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等離子光譜分析儀

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蘇州等離子光譜分析儀 (OES)

產品功能

等離子光譜分析儀為非侵入式的等離子分析儀器,能夠進行等離子的監控及分析制程中等離子元素特性,幫助提升制程的監控性并提供制程后續分析能力。


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詳情介紹

產品特色

.真空內置式偵測頭

.防鍍膜組

.能觀測特定波長

.能控制流量計

.能擴充至4組流量計控制

.等離子光譜成分后續分析功能

.客制化


可應用范圍

.LED 產業

.太陽能產業

.半導體產業

.光電產業

.等離子鍍膜產業

.等離子處理系統

.光學產業

.學術研究


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