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產品功能
等離子光譜分析儀為非侵入式的等離子分析儀器,能夠進行等離子的監控及分析制程中等離子元素特性,幫助提升制程的監控性并提供制程后續分析能力。
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產品特色
.真空內置式偵測頭
.防鍍膜組
.能觀測特定波長
.能控制流量計
.能擴充至4組流量計控制
.等離子光譜成分后續分析功能
.客制化
可應用范圍
.LED 產業
.太陽能產業
.半導體產業
.光電產業
.等離子鍍膜產業
.等離子處理系統
.光學產業
.學術研究
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