超低溫蘇州等離子清洗機在進行清洗時，工作氣體往往用氧氣，它被加速了的電子轟擊成氧離子、自由基后，氧化性較強。工件表面的污物，如油脂、助焊劑、感光膜、脫膜劑、沖床油等，很快就會被氧化成二氧化碳和水，被真空泵抽走，從而達到清潔表面,改善浸潤性和粘結性的目的。

超低溫蘇州等離子清洗機的處理僅涉及材料的淺表面( <10nm),不會對材料主體的性質產生影響。由于等離子體清洗是在高真空下進行的，所以等離子體中的各種活性離子的自由程很長，他們的穿透和滲透能力很強，可以進行復雜結構的處理，包括細管和盲孔。

超低溫蘇州等離子清洗機的工藝原理為很多乙烯基單體，如乙烯、苯乙烯等在等離子體條件下，不要其他任何催化劑和引發劑而在工件表面實現聚合，甚至甲烷，乙烷，苯這些在常規聚合條件下不能聚合的物質，都可以在等離子體條件下在工件表面實現交聯聚合。