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產品特色
.高密度等離子源,等離子效率高,減少制程時間
.特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統設計
.處理之均勻性佳
.等離子均勻性佳
.可使用多種制程氣體
.全自動且容易操作
.設備穩定高,容易維護
.可根據客戶需求設計專用特殊規格之機臺
可應用范圍
.PCB、FPC
.印刷或黏著前之表面粗化或清潔
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