超低溫杭州等離子清洗機中存在下列物質：處于高速運動狀態的電子，處于激活狀態的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子，未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面.以達到清洗目的。

超低溫杭州等離子清洗機是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態存在，如地球大氣中電離層中的物質。

其采用無線電波范圍的高頻產生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好。

超低溫杭州等離子清洗機需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達到。因此這種裝置的設備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統的濕法清洗工藝。