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產品功能
真空蝶閥具備蝶閥本體與控制器,控制器可供應蝶閥電源與壓力計電源,節省系統與蝶閥間復雜的配線,另外真空蝶閥除具備蝶閥開合度調節壓力外,更首創加入流量控制器的操作來調節壓力,可比一般外購蝶閥更容易穩定系統壓力。
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產品特色
.ISO63~ ISO160管徑
.具備壓力與角度控制模式
.具備蝶閥本體與控制器
.內部提供壓力計電源
.可操作流量控制器調節壓力
.具備壓力異常警告
可應用范圍
.鍍膜產業
.光電半導體產業
.相關真空制程領域
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