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東莞干式超聲波(USC)

超聲波清潔的原理是藉由超聲波突破邊界層，將振動能量傳遞至灰塵，進而與基板分離后，由兩側的排氣口吸除,優點在于不需要用水即可清洗掉落塵。可廣泛用于LCM貼合、半導體封裝等工藝。

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