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產品特色
．高密度等離子源
．處理速度快、產能高、可靠度高
．可選擇的操作參數多
．設備穩定度高，容易維護
．全自動且容易操作
．可依客戶需求作更改
可應用范圍
．太陽能電池
．太陽能矽晶片邊緣做蝕刻
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