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高真空濺鍍系統CF-SP01 (X、Z)

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產品特色

．高沉積速度，好的鍍膜均勻度

．可安裝濺鍍槍3支

．可通入多組氣體

．可增加偏壓

．容易操作和維護

．全自動及機臺穩定性高

．可依照客戶需求

．可搭配等離子光譜分析儀做等離子強度分析及控制

可應用范圍

．LED產業

．太陽能產業

．半導體產業

．學術研究

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上海高真空濺鍍系統CF-SP01 (X、Z)