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產品特色
．可設置2組Sputter及2側陰極電弧模組。
．整合PVD及PECVD系統技術，可以制備附著性極佳之Me/DLC復合鍍層技術。
．可彈性應用于刀工具硬質膜層之制作及耐磨耗零件之Me/DLC披覆。
．可制備：TiN、AlTiN、AlCrN、ZrN、WCC、Me/DLC等。
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